PVD镀膜设备的使用步骤 机加工订单
2022-07-25 本站作者 【 字体:大 中 小 】
1、打开真空控制电源开关。
2、开维持泵对扩散泵抽低真空,并测量前级真空度。
3、待前级压力达到5*100后,开扩散泵加热。
4、开充气阀,对镀膜室充气,打开镀膜室门,装好清洗干净的工件,关好炉门。
5、待扩散泵正常工作一小时后,开机械泵开预抽阀,对真空室手抽真空至1*103,然后开罗茨泵。
6、当压力达到3*100后,关预抽阀,开前级阀。开高真阀,对镀膜室抽高真空。
7、当真空室压力达到8*10-3(具体压力值根据工艺要求而定)后开工件旋转,并开加热至设定值。
8、开始镀膜操作程序。
9、镀膜操作程序结束。
10、降炉温至100℃以下,打开充气阀开炉门取出工件,每一炉使用之前对炉内进行清洁。
猜你喜欢
镀银层变色的原因
2021-10-09
965
965
影响铝氧化膜着色质量的六种因素 机加工订单
2021-12-29
727
727
使用数控车床加工五金零件有什么优势?外协加工订单
2022-05-13
730
730
镁合金微弧氧化工艺到底是怎样的?机加工订单
2023-02-21
831
831
真空镀膜技术一般分为两大类 机加工订单
2022-09-23
592
592
阳极氧化铝单板不同的表面处理工艺特点 机加工订单
2023-04-04
1072
1072
想知道如何防止电镀浴减速吗?
2021-06-03
915
915
塑料件装饰膜的蒸镀工艺 外协加工订单
2022-07-18
829
829
如何高质量的塑胶电镀的要求 外协加工订单
2023-03-17
666
666
镀银和纯银的区别介绍
2021-10-15
1349
1349 