PVD镀膜设备的使用步骤 机加工订单
2022-07-25 本站作者 【 字体:大 中 小 】
1、打开真空控制电源开关。
2、开维持泵对扩散泵抽低真空,并测量前级真空度。
3、待前级压力达到5*100后,开扩散泵加热。
4、开充气阀,对镀膜室充气,打开镀膜室门,装好清洗干净的工件,关好炉门。
5、待扩散泵正常工作一小时后,开机械泵开预抽阀,对真空室手抽真空至1*103,然后开罗茨泵。
6、当压力达到3*100后,关预抽阀,开前级阀。开高真阀,对镀膜室抽高真空。
7、当真空室压力达到8*10-3(具体压力值根据工艺要求而定)后开工件旋转,并开加热至设定值。
8、开始镀膜操作程序。
9、镀膜操作程序结束。
10、降炉温至100℃以下,打开充气阀开炉门取出工件,每一炉使用之前对炉内进行清洁。
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