真空镀膜与湿式镀膜相比具有明显优点：

1、膜材和基体选材广泛，膜的厚度可以进行控制以制备具有各种不同功能的功能性薄膜。

2、真空条件下制备薄膜，环境清洁，膜不易受到污染，因此，可获得致密性好、纯度高、膜层均匀的膜。

3、与基体附着强度好，膜层牢固。

4、真空镀膜既不产生肺液也无环境污染。

真空镀膜技术在电子学等方面主要用来制造电阻和电容元件。

电子显微镜能揭开微观世界的奥秘，但其标本必须经真空镀膜处理才能观察，激光技术的心脏-激光器需要镀上精密控制的光学膜层才能使用，太阳能的利用也与真空镀膜技术息息相关。

用真空镀膜代替电久工艺，不但能节省大量的膜材和降低能耗，而且还会消除湿法镀膜中所产生的污染。因此，在国内外已大量使用真空镀代替电镀为钢铁零件涂覆防腐层和保护膜，冶金工业也用来为钢板和带钢加镀铝防护层。

塑料薄膜采用真空镀的方法加镀铝等金属膜，再进行染色，即可得到用于纺织工业中的金银丝等制品，或用于包装工业中的装饰品薄膜。